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液体防爆多晶硅加热器是通过泵强迫对流的的方式对流体进行加热的，是通过泵强制循环的一种加热方式。循环式多晶硅加热器具有体积小，加热功率大，热效率高的特点，其工作温度及压力都高，工作温度可达600℃，耐压可达20MPa。循环式电加热器结构密封可靠，无“跑、冒、滴、漏”等现象，介质加热均匀，升温迅速稳定，可实现温度、压力、流量等参数的自动控制。
多晶硅电加热器中采用了由镍、铬合金而制成的电阻丝，其温度可以高达800℃以上。由于多晶硅加热器的功率都比较大，所以一旦使用的时候稍加不注意的话，就有可能发生火灾的危险。
由于优质多晶硅加热器的周围采用的是波纹的不锈钢带，因此可以有效的增加冷却面积，大大提高了换热效率。而且多晶硅加热器的特殊设计使得风阻很小，保持均匀加热，没有高的冷的角落。
风道式多晶硅加热器的双重保护设计，使其设备运行过程中的安全性能比较好；另外恒温器，熔断器安装在加热器可用于控制空气管道工作温度，使得风道式冷氢化加热器的也能够有范围有了进一步的扩大。
辐射式加热炉中的温度控制仪表的触点通断，保证防爆辐射式加热炉工作在一定温度范围内。一旦防爆辐射式加热炉出现烧断故障，操作人员无法判断防爆辐射炉是温度升高加热器正常断电还是加热器断路故障造成的防爆多晶硅电加热器断电。由于加热器的热惯性，防爆多晶硅电加热器内部的温度需延迟一段时间才降下来，这样当防爆多晶硅加热器的操作人员发现产品不合格后，已造成百上千的产品浪费，使产品质量受到影响。防爆多晶硅加热器断路检测装置应能够自动识别温度升高加热器断电和防爆多晶硅加热器断路故障。
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